第377章 第四代光刻机的变态参数！（第2/2页）

唰~

直播画面突然切换，播放了一段宣传视频，在画面里出现的巨大机台，就是星辰科技的第四代光刻系统。

这套系统比ASML的EUV机台大了足足三倍，这是由于采用了功率更高的紫外混合激光发生系统，更复杂的透镜系统，和更牢固的刻蚀引擎。

罗佳的演讲永远充满干货，节奏飞快，刚才他还在讲北美陶氏化学，断供POE弹性体的事情，广义上的POE，是指乙烯辛烯共聚物、乙烯丁烯共聚物，乙烯己烯共聚物等等。

它们都是聚烯烃类弹性体，用来做PA尼龙增韧剂，PP抗冲改性，EVA挤出软管，PE膜之类的产品。

目前全世界仅有六家厂商生产，并且全都是外企，我国对POE年需求量在二十万吨，全部必须靠进口。

陶氏化学作为全球最大的POE供应商，突然断供，对我国影响巨大，所以星辰化学现在临危受命，准备搞技术攻关。

另外罗佳还说，从这件事上要学会居安思危，塞拉尼斯集团的醋酸纤维丝，超分子量聚乙烯，聚苯硫醚PPS，英威达和奥盛德集团的PA66，伊斯曼集团的PCTG和PETG，这些化工产品也要尽快完成进口替代。

反正罗佳是从化学，直接就跳到了光刻机，把正聚精会神听讲的观众们吓了一大跳，以为罗佳还要再扯一会儿呢，竟然直接进入正题了。

“我知道，很多西方同行在怀疑，我们这套究竟是不是真正的第四代光刻系统。”罗佳大声宣布道：“现在，怀疑的人可以睁大眼睛看清楚了，这是如假包换的第四代，超级紫外混合激光刻蚀曝光系统！”

“如这张简要设计图所示，我们在这套系统中，创造出了波长为零点五纳米的超紫外混合激光，其精度，是目前全球最先进，ASML集团EUV机台的整整二十七倍！”

“而为了获得比极紫外更强的光源，星辰光学团队研发了CSMT全反射变焦镜头组件，变焦十六倍，数值孔径零点零三三，最大曝光范围七十六乘以九十三毫米！”

“这套透镜，是德国卡尔蔡司透镜性能的，整整三十倍！”